SFT9500的X射线发生系统是X射线聚光系统聚光导管与X射线源相结合，产生束斑直径为0.1mm以下高强度的X射线束。 所以SFT9500可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插头、柔性线路板等微小零件及薄膜进行测量。同时，SFT9500采用了高计数率、高分辨率的半导体检测器无需液氮，在测量镀膜厚度的同时，对于欧盟的RoHS ELV法规所限制的有害元素的分析测量也十分有效。
由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。
★ 无需液氮的半导体检测器
在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是必不可少的。SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。
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